日野市企業の魅力PRレポート ローツェイアス株式会社

企業概要

会社名

ローツェイアス株式会社

住所

〒191-0011 東京都日野市日野本町 2-2-1

事業内容

全自動金属不純物分析装置

主要製品

LA-ICP-MS 装置、全自動気相分解装置、オンライン自動標準液添加装置

代表者名

川端　克彦

窓口担当

岸　洋子

資本金

90,000,000円

設立年月

平成16年12月

売上

3,900,000,000円

従業員数

70人

電話

042-589-5525

ファクス

042-589-5526

メール

iasjapan@rorze-ias.com

• 企業ホームページ（ローツェイアス株式会社）（外部リンク）

PR事項

1.概要

当社では、半導体分野における極微量金属不純物分析の全自動化を鍵としたシステムを柱とした製造・販売をしています。ニッチな市場のオンリーワン製品を作り上げるための研究開発および製品サポートに重点を置いた経営スタイルで、60件を超える国内外特許を取得しています。

金属不純物の分析を前処理から全自動化することにより環境からの汚染を避けると共に、作業者への薬液蒸気による被爆リスクを低減することができます。

業務の急拡大に伴い、海外で仕事をしたい技術者を募集しています。

レーザーアブレーションICP-MS装置

フェムト秒レーザーをウェーハに照射することで固体から放出された微粒子をICP-MSで直接分析することができる装置です。300 mmウェーハ表面の局所やウェーハの深さ方向の金属汚染を直接分析できる装置です。また、ウェーハベベル部の局所金属汚染も分析できる装置です。

全自動気相分解装置

半導体製造FAB内に設置され、ウェーハ中およびウェーハ上に生成された膜中の金属不純物を全自動で分析できる装置であり、半導体工場の製造ラインに組み込まれ24時間365日連続運用されています。

オンライン自動標準液添加装置

ICP-MSは比較分析手法であるため、標準溶液を用いて検量線を作成する必要があります。種々の異なった薬液および有機溶媒等を分析するときには、マトリックスによる感度変化の影響を考慮した分析手法として標準添加法が用いられます。この装置は、標準添加法を用いた全自動分析を可能にしました。全自動気相分解装置および薬液中金属不純物分析システムにも組み込まれて使用されています。

2.希望する連携内容(マッチングを希望する内容)、お客様への提案等

• ほとんどの大手半導体デバイス、ウェーハ、装置メーカーへの納入実績があり、海外売上比率が70%以上というグローバルな会社です。

特記事項（期待される応用分野）

• 2009年度　国立研究開発法人　科学技術振興機構（JST）　A－Step　開発委託
• 2016年度および2019年度　東京都中小企業振興公社　グローバルニッチトップ助成事業
• 2020年度　経済産業省　戦略的基盤技術高度化支援（サポイン）　事業

• ローツェイアス株式会社 日野市企業の魅力PRレポート 令和7年度版 （PDF 258.2KB）